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fornello a tre zone di temperatura 150 mm od pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

fornello a tre zone di temperatura 150 mm od pecvd


tmax-1200-1200-1200 Il sistema è composto da forno a tubi sottovuoto tl1200, camera a vuoto al quarzo, alimentatore rf, sistema di alimentazione gas gx, sistema di pompaggio e sistema di misurazione del vuoto.

caratteristiche principali:

1. il gas nella camera del vuoto al quarzo viene trasformato in stato ionico tramite l'alimentazione rf.

2. pecvd è inferiore al normale cvd per la deposizione chimica da fase vapore.

3. lo stress dei film depositati può essere controllato dalla frequenza dell'alimentazione rf.

4. pecvd ha un alto tasso di deposizione, una buona uniformità, consistenza e stabilità rispetto al normale cvd.

5. ampiamente utilizzato nella crescita di vari film, come siox, sinx, sioxny e silicio amorfo (a-si: h), ecc.

la tecnica del sistema tl1200 - pecvd all'elemento riscaldante del filo di resistenza kanthal svedese, utilizzando una struttura a doppio guscio e una tabella di controllo della temperatura di programma, trigger di sfasamento, controllo a tiristore, forno utilizzando materiale in fibra di allumina policristallina, guarnizione di flangia in acciaio inossidabile su entrambe le estremità il tubo del forno, l'installazione della flangia dell'acciaio inossidabile ha una bocca, una valvola e un manometro, vuoto, grado di vuoto può raggiungere 10-3 pa, equilibratura del campo di bassa temperatura, temperatura superficiale, tasso di temperatura dell'elevatore, risparmio di energia, concessioni di prezzi, ecc.

1. filo kanthal a1 resistenza della Svezia

Kanthal a1 fornace filo filo resistenza originale cinese vs fornace filo di resistenza importato

(1), l'alta temperatura superficiale può raggiungere 1420

(2) la superficie è in acciaio inossidabile (molto brillante, il cliente dovrebbe prestare attenzione ad esso), non arrugginirà, e il tempo di utilizzo non cadrà dalle scorie.

(3) vengono scaricati i dati del filo di resistenza kanthal

(4) sito web kanthal resistance wire: www.kanthal.com

(5) la resistenza è bilanciata e il campo di temperatura è ugualmente buono

la maggior parte dei produttori usa la lega di fe-cr-al drogata con un filo di resistenza, che

a volte la resistenza è irregolare e parte del calore è piccola resistenza kanthal a1 è uniforme e calore bilanciato, buon effetto campo di temperatura

2. installazione di interruttore pneumatico e protezione perdite:

quando una corrente elettrica o una perdita, una riunione vuota si disconnette automaticamente.

3. può connettersi con il computer

questo forno è dotato di interfaccia di comunicazione e software, può essere direttamente attraverso il controllo computer del forno di ogni parametro, e può essere osservato dal computer pv sulla stufa e valore di temperatura sv e funzionamento dello strumento, la temperatura effettiva del computer di disegno curva forno in tempo reale, e in grado di mantenere i dati di temperatura di volta in volta, può richiamare in qualsiasi momento

4. Camera


(1 ) fornace in fibra policristallina ad alta allumina pura di alta qualità con aspirazione e modanatura del filtro.

(2). adottare la tecnologia giapponese per formare.

(3). la spaziatura e il passo del filo di resistenza nel forno sono disposti secondo la migliore tecnologia termica del Giappone, e il campo della temperatura è simulato dal software termico

(4). usando 4 settimane di riscaldamento, la temperatura è più equilibrata

5. quadro elettrico ul certificato opzionale (tutto attraverso la certificazione UL di apparecchi elettrici importati)

6. innesco

la limitazione della corrente di soft-start innesca la maggior parte dei produttori che utilizzano trigger di biamplificazione xiamen non limitanti

1 grilletto di sfasamento (con soft start e limitazione di corrente)

2. funzione di limitazione della corrente non importa come regolare il tempo di riscaldamento che fornace elettrica dopo la corrente secondaria del trasformatore è limitata a 170a o meno protezione limitata dell'apparecchiatura. trigger non limitativo se la velocità di riscaldamento è impostata in modo errato o troppo veloce. bassa corrente di corrente è molto grande il dispositivo si inciamperà o brucerà.

3 funzione soft-start la corrente aumenterà lentamente la corrente l'impatto dell'elemento riscaldante è piccolo è favorevole all'estensione della durata dell'elemento riscaldante

4 la funzione di protezione se la corrente supera la corrente limite il trigger interromperà automaticamente la funzione di trigger per interrompere il forno di protezione corrente.

7. trasformatore certificato UL

1 il cavo del trasformatore è in rame puro

2 il trasformatore sembra piccolo

3 la temperatura del trasformatore è bassa

8. una varietà di opzioni per scegliere una varietà di flange (diametro da 25 a 250mm)

modello

tmax-1200-1200-1200 - io

tmax-1200-1200-1200 -ii

tmax-1200-1200-1200 -III

tmax-1200-1200-1200 -IV

dimensione del tubo

120 (od) x1800mm dia

60 (od) x1800mm dia

80 (od) x1800mm dia

100 (od) x1800mm dia

dimensioni generali (lxdxh)

1800 x480x680

1800 x410x610

1800 x410x610

1800 x460x660

la tensione di alimentazione

220 v

materiale della guida di scorrimento

Acciaio inossidabile 304

modalità scorrevole

Cuscinetto volvente in acciaio inossidabile

numero di fase

monofase

termosifone

importazione svedese canthal a1 resistenza filo clicca nel download dei dati

la modalità di controllo

utilizzando il termometro di controllo del programma elettrico yu (standard)
1. Regolazione di pid intelligente della temperatura di controllo del programma.
2. il circuito di riscaldamento del forno elettrico può essere interrotto automaticamente quando è stato protetto da caldo o rotto accidentalmente. (Quando la temperatura del forno supera i 1200 gradi o la termocoppia si rompe, il relè CA sul circuito principale si scollegherà automaticamente, il circuito principale si rompe, la luce sul pannello si spegne, la luce, il forno elettrico protettivo limitato.
3. con interfaccia di comunicazione 485 (standard e standard per la scelta del software)
4. ha la funzione di protezione da interruzione di corrente, cioè, quando l'alimentazione è spenta, il programma non si avvia dalla temperatura iniziale, ma il forno inizierà a salire quando l'alimentazione è spenta.

lo strumento ha la funzione di autoimpostazione della temperatura

(per sostituire lo strumento importato, dobbiamo pagare un'altra tassa).

Tabella di controllo della temperatura fp93 (shimaden)

strumenti europei strumento touchscreen

la modalità di controllo della temperatura

pid

protezione e display rotti

protezione da sovratemperatura

protezione da sovracorrente

controllo di precisione

+ / - 1

il grilletto

grilletto di sfasamento

apparecchi elettrici

Zhejiang Chint

raddrizzatore controllato al silicio

106 / 16e porta ovest, Germania

la più alta temperatura

temperatura zona1: 1200 zona di temperatura 2: 1200

la temperatura nominale

temperatura zona1: 1100 zona di temperatura 2: 1100

velocità di riscaldamento

il 20 / min o meno (può essere modificato in base al requisito)

velocità di riscaldamento raccomandata

10 / min o meno

modello di termocoppia

zone 1: intervallo di temperatura di k tipo 2: tipo k

lunghezza di riscaldamento

zone 1: intervallo di temperatura di 200 mm. 2: 200 mm

certificazione elettrica

ce

temperatura della superficie circostante

45 o meno

alimentatore rf

(generatore di plasma)

gamma di potenza

0-500 w

massima potenza riflessa

200 w.

frequenza di lavoro

rf: 13,56 mhz più o meno 0,005%

stabilità di potenza

+ / - 0,1%

componente armonica

- 50 o meno dbc

larghezza rf

0-600 - mm è regolabile

modalità di corrispondenza

automatico

modalità di raffreddamento

aria fredda

rumore

il & lt; 50 db

l'interfaccia di radiofrequenza

50 Ω n - tipo

potenza di ingresso

208-240 - v 50/60 hz

parametri principali del sistema di alimentazione del gas gx

misuratore di portata di massa
la gamma standard
utilizzando il controller di flusso protonico 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm
(puoi scegliere la gamma della gamma e il tipo di gas)
pressione massima di esercizio 3 mp
la precisione di più o meno 1,5%
la caduta di pressione & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
ripetere l'accuratezza più o meno 0,2% f.s

channles:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opzionale)

tipo di giunto

connettore in acciaio inossidabile a doppia cassetta

campo di pressione del sistema di lavoro

0,1 ~ 0,5 mpa

temperatura di lavoro

5-45

orologio sotto vuoto

0,1 ~ 0,15 mpa a 0,01 mpa / caso

camera di miscelazione statica

dia50 x 400 mm

interfaccia

dia6 1/4 "

l'alimentazione

220 v

taglia

600 x 600 x 600

tubo corrugato

kf25x1000mm

il grado di vuoto può essere raggiunto con questo sistema

10-1 il pa

valvola deflettrica a vuoto

KF25

pompa da vuoto vrd a 8

modello

da vrd a 8

limitando la pressione parziale

5 x10-2 pa

interfaccia di scarico in ingresso

KF25

velocità del motore

1440 rpm

tasso di estrazione

2,2 l / s

potenza del motore

0,4 kw

perfeer acp1 pump radicale multistadio oil-free (piano 2)

modello

acp15

Alimentazione elettrica

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

energia

450 w

interfaccia di scarico

KF25

peso

25 kg

il tasso massimo di perdita di elio è

5 · 10-8 pa m3 / s

grado di vuoto estremo

0,02 torr

il tasso di estrazione è

14 m3 / h

modello

zdr - 1

energia

25 w.

campo di misura del grado di vuoto

0,1-10 5 pa

silicio di resistenza

quale zj ha dovuto 52 t

misuratore di vuoto di capacità pirani sweden (infone) (opzionale)

modello

pcg554

tensione di ingresso

24v 1a dc (dotato di trasformatore 220v)

interfaccia del vacuometro

KF16

Display digitale

display digitale (dimensioni schermo 20x14mm), la cui unità di visualizzazione dati è torr

taglia del prodotto

46 mm x 28 mm x 126 mm (l x w x h)

il peso del

5 libbre

rilevamento di gas

vari gas possono essere rilevati inclusi gas miscelati, accurati e ripetibili.

se l'anti-corrosione

protezione dalla corrosione

il tempo di risposta

30 ms o meno

campo di misura

3,8 x10-5-1125 torr.

unità pompa molecolare (opzionale)

tensione di ingresso dell'unità

380 v / 220 v

tubo corrugato

kf40x1000

valvola deflettrica a vuoto

KF40

dimensione del caso

600 x 600 x 600

pompa molecolare

modello di pompa molecolare

fj620

tensione di ingresso

380 v

flangia di ingresso della pompa molecolare

DN160

portata di pompaggio molecolare l / s (per aria)

600

limite di pressione della pompa molecolare (pa)

6 x 10-7

sistema di raffreddamento

acqua raffreddata

pressione dell'acqua di raffreddamento (mpa)

Da 0,1 a 0,2

temperatura dell'acqua di raffreddamento

& Lt; 25 & Lt; p = "" & gt;

la temperatura dell'ambiente

0 ~ 40

suggerito di iniziare la pressione

& Lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

pompa per vuoto motore rvp - 6

energia

0,75 kw

voltaggio

380 v

velocità

1450 giri al minuto

diametro di ingresso

kf25 / kf40

velocità di pompaggio della pompa (l / s)

6

massima pressione

4 x 10-2 pa

pompa per vuoto tedesca pfeiffer

voltaggio

220 v

energia

110 w.

interfaccia di estrazione

KF40

il peso del

150 kg

velocità della pompa della pompa anteriore

0,9 m 3 / h

tasso di estrazione (n2)

33 m / s

vacuometro composto

modello di vacuometro composto

ZDF

l'alimentazione

220 v 55 w

controllo di precisione

più o meno 1%

campo di misura del vacuometro

10-5-10 5 pa

PECVD furnace

1. forniamo macchine con supporto per la tecnologia della batteria.

2. forniamo set completo di batteria al litio per la ricerca di laboratorio, ricerca su scala pilota e produzione lin e.



1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, imballaggio esterno in scatola di legno.

2 spedizione per espresso, per via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile per il danno durante il processo di spedizione, cambierà gratuitamente la parte danneggiata per te.


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