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laboratorio 1200 ℃ doppia zona forno tubo pecd scorrevole (opzionale tubo dia)

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

laboratorio 1200 ℃ a doppia zona s lidable forno a tubo pecvd (diametro del tubo opzionale)


tmax-DSP-1200pecvd è un Forno a tubi scorrevoli a due zone pe-cvd Il sistema è costituito da una fonte di plasma RF, con dimensioni del tubo e una guida scorrevole integrata, misuratore di portata massico di precisione con serbatoio di miscelazione del gas e pompa per vuoto oil-less di alta qualità. tale forno pe-cvd è un nuovo strumento per coltivare nanofili o grafene con i seguenti vantaggi:
1. elaborazione della temperatura inferiore rispetto al convenzionale cvd.

2. alto riscaldamento e amp; velocità di raffreddamento con forno scorrevole.

3. 1200ºc max. temperatura di lavoro.

4. offre una vasta gamma di deposizioni di materiali, come carbonio e amp; grafema zno (o tubo) e grafema a singolo strato.

specifiche:

modello

dsp-1200 -pecvd-i

dsp-1200 -pecvd-ii

dsp-1200 -pecvd-iii

dsp-1200 -pecvd-iv

energia

3 kw

3 kw

4 kw

4 kw

dimensione del tubo

dia 60 (od) x1800mm

dia 80 (od) x1800mm

dia 100 (od) x1800mm

dia120 (od) x1800mm

dimensioni del prodotto (mm)

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

Caratteristiche

1. due temp di precisione programmabili controller con 30 segmenti.

2. due zone di riscaldamento controllate separatamente:

    • 200mm di lunghezza per ogni zona di riscaldamento
    • 400mm totali in lunghezza di riscaldamento
    • Area di riscaldamento a temperatura centrale costante di 250 mm se entrambe le zone sono state riscaldate alla stessa temperatura

strutture del forno

1. forno a tubi divisi con binario di scorrimento

2. max 1150ºc per riscaldamento continuo

3. termoregolatori digitali di precisione multi-programmabili con 30 segmenti.

4. potenza in ingresso: 208 - 240 V ac, monofase al massimo. 4kw

alimentazione plasma rf

1. potenza di uscita: 5 -500w regolabile con stabilità ± 1%.

2. frequenza RF: 13,56 mhz ± 0,005% di stabilità.

3. potenza di riflessione: 10w max.

4. abbinamento: automatico

5. porta di uscita rf: 50 Ω, tipo n, femmina

6. rumore: & lt; 30 db.

7. raffreddamento: raffreddamento ad aria.

8. potenza: 208-240vac, monofase, 50 / 60hz

manometro anticorrosivo

1. 3.8x10 -5 fino a 1125 intervalli di misura torr

2. anticorrosivo, tipo a gas indipendente

3. alta precisione e riproducibilità in atmosfera per il rilevamento affidabile della pressione atmosferica

4. la rilevazione rapida dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e accorcia il ciclo del processo

5. facile da sostituire plug & amp; riprodurre l'elemento sensore

stazione di pompaggio del vuoto e valvole

1. Pompa a vuoto secca oil-less pfeiffer ad alta velocità (120 l / min), il limite di 10e-3 torr è installato all'interno del carrello mobile per servizio pesante

2. L'adattatore kf25 e il tubo in acciaio inossidabile sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo con la valvola a sfera per la spina e il gioco del cliente

3. Il vuoto torr 10e-2 può essere ottenuto all'interno del tubo di elaborazione

misuratori di portata massica & amp; stazione di miscelazione del gas

è installato in un carrello mobile per servizi pesanti in cui il forno tubolare può essere posizionato sulla parte superiore. Il touch screen LCD è integrato per fornire un facile controllo sulla portata del gas di ciascun canale indipendente.

1. temperatura di lavoro: 5 ~ 45 ºc

2. max. pressione: 3x10 6 papà

3. precisione: ± 1,5% fs

4. rivestimento: ± (0,5-1,5)% f.s.

5. precisione doppia: ± 0,2% f.s.

6. range di controllo: 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm o 1,2,3,5,10slm.

riscaldamento e amp; velocità di raffreddamento

    • La porta RS485 e il software sono installati e consentono il profilo della temperatura di controllo remoto tramite PC.
    • per raggiungere la velocità massima, l'utente deve preriscaldare il forno alla temperatura desiderata, quindi far scorrere il forno nella zona campione del tubo
    • al fine di raggiungere il massimo velocità di raffreddamento, spostare il forno riscaldato dalla zona calda alla zona fredda

velocità di riscaldamento:

15 ° c / sec (rt - 150 ° c);

10 ° c / sec (150 ° c - 250 ° c);

7 ° c / sec (250 ° c - 350 ° c);

4 ° c / sec (350 ° c - 500 ° c);

3 ° c / sec (350 ° c - 550 ° c);

2 ° c / sec (550 ° c - 650 ° c);
1 ° c / sec (650 ° c - 800 ° c);
0,5 ° c / sec (800 ° c - 1000 ° c);

velocità di raffreddamento:

15 ° c / sec (1000 - 950 ° c);

10 ° c / sec (950 ° c - 900 ° c);

7 ° c / sec (900 ° c - 850 ° c);

4 ° c / sec (850 ° c - 750 ° c);

2 ° c / sec (750 ° c - 600 ° c);
1,5 ° c / sec (600 ° c - 500 ° c);
1 ° c / sec (500 ° c - 400 ° c);
0,5 ° c / sec (400 ° c - 300 ° c);

garanzia

due anni di garanzia limitata con supporto a vita.

note applicative

i forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'utilizzo sotto vuoto e bassa pressione & lt; 0,12 mpa (pressione assoluta).
attenzione: un regolatore di pressione a due stadi deve essere installato sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 psi per un funzionamento sicuro.
la portata per i gas deve essere limitata a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) per ridurre gli shock termici al tubo.
definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubi di quarzo: * le pressioni di vuoto possono essere utilizzate in modo sicuro solo fino a 1000 ° c.
per il funzionamento del sistema pecvd con dimensioni del tubo superiori a 4 ", mantenere sempre una distanza superiore a 1 metro dalla fonte del plasma dopo che il generatore di plasma inizia a funzionare.

1. forniamo macchine con supporto per la tecnologia della batteria.

2. forniamo set completo di batteria al litio per la ricerca di laboratorio, ricerca su scala pilota e produzione lin e.



1 pacchetto standard esportato: protezione anticollisione interna, imballaggio esterno in scatola di legno.

2 spedizione per espresso, per via aerea, via mare in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 responsabile per il danno durante il processo di spedizione, cambierà gratuitamente la parte danneggiata per te.


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